セミナーの詳細とお申し込みは、 弊社の以下URLをご覧ください！
https://cmcre.com/archives/109585/
質疑応答の時間もございますので、 是非奮ってご参加ください。
AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ、太陽電池などのエレクトロニクスの分野で広く活用されてきました。
本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD（原子層堆積）/ALE（原子層エッチング）技術について、その基礎と応用について概説します。特に、堆積の原理や材料について詳しく紹介します。また、LSI、薄膜トランジスタ、パワーデバイスに応用した時の特長や課題についても紹介します。
1）セミナーテーマ及び開催日時
テーマ：ALD（原子層堆積）/ ALE（原子層エッチング）技術の基礎と応用
開催日時：2023年5月26日（金）10：00～16：00
参 加 費：55,000円（税込） ※ 資料付
＊ メルマガ登録者は 49,500円（税込）
＊ アカデミック価格は 26,400円（税込）
講 師：浦岡 行治 氏 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授
【セミナーで得られる知識】
・ 半導体プロセス技術全般（特にALD技術）
・ 半導体デバイス技術（特にMOSデバイス）
・ 半導体材料の評価技術（電気的/化学的/物理的）
※本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。推奨環境は当該ツールをご参照ください。後日、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
2）申し込み方法
シーエムシー・リサーチの当該セミナーサイト
https://cmcre.com/archives/109585/
からお申し込みください。
折り返し、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
詳細はURLをご覧ください。
3）セミナープログラムの紹介
1. 薄膜形成技術の基礎
1.1 薄膜作製の基礎
1.2 薄膜の評価方法
1.2.1 電気的評価
1.2.2 化学的分析法
1.2.3 光学的評価法
2. ALD技術の基礎
2.1 ALD技術の原理
2.2 ALD薄膜の特長
2.3 ALD技術の歴史
2.4 ALD装置の仕組み
2.5 ALD技術の材料
3. ALD技術の応用
3.1 パワーデバイスへの応用
3.2 酸化物薄膜トランジスタへの応用
3.3 MOS LSIへの応用
4. ALE技術の基礎
4.1 ALEの歴史
4.2 ALEの原理
5. ALE技術の応用事例
3.1 シリコン、窒化ガリウム等半導体材料への応用
3.2 シリコン酸化膜、窒化膜等絶縁膜への応用
3.3 Co等金属膜への応用
6. ALD/ALE技術の課題と展望
4）講師紹介
【講師経歴】
1985年3月 豊橋技術科学大学大学院 電気電子修士修了
1985年4月 松下電器産業（株） 半導体研究センター
1996年4月 松下電器産業（株） 液晶開発センター
1999年4月 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 助教授
2009年4月 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授
5）セミナー対象者や特典について
※ 本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。推奨環境は当該ツールをご参照ください。後日、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★ 受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
【セミナー対象者】
・ 半導体プロセス・デバイス技術者・学生/教員・企業関係者・研究企画関係者
☆詳細とお申し込みはこちらから↓
https://cmcre.com/archives/109585/
6）ウェビナー（オンライン配信セミナー）のご案内
○バイオリアクターの装置および操作の設計、スケールアップ
開催日時：2023年5月2日（火）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/107741/
○欧州における車載樹脂のリサイクル技術の動向
開催日時：2023年5月9日（火）13：30～15：00
https://cmcre.com/archives/109881/
○非接触・抗菌・抗ウイルスタッチパネルと透明導電性フィルムの応用展開
開催日時：2023年5月9日（火）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/110046/
○EV化により留意したい騒音と対策技術
開催日時：2023年5月10日（水）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/108662/
○ワイヤレス電力伝送・5Gにおける電波吸収体技術の最前線
開催日時：2023年5月10日（水）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/109010/
○- バイオプラスチックの実用化 –
技術開発、ビジネスデベロップメント、それぞれの側面から見えてくる課題について
開催日時：2023年5月11日（木）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/110816/
○バッテリーマネジメント用リチウムイオン電池のインピーダンス測定の考え方
開催日時：2023年5月11日（木）10：30～16：30
https://cmcre.com/archives/107357/
○水性塗料の設計技術との課題、顔料分散剤の利用技術・外観低下トラブルの原因と対策管理
開催日時：2023年5月12日（金）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/109976/
○計算×情報×実験による 人間の経験則を超えた磁性材料の創製
開催日時：2023年5月12日（金）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/106841/
○熱から冷却と発電が可能な熱音響デバイスについて
開催日時：2023年5月15日（月）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/109850/
○レアメタルの分離回収剤の開発と抽出・吸着
開催日時：2023年5月15日（月）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/109912/
○車載用電池事業のグローバル競争とビジネス展開
開催日時：2023年5月16日（火）13：30～16：30
https://cmcre.com/archives/107622/
○廃プラスチックの大規模リサイクルを目指すケミカルリサイクル技術開発
開催日時：2023年5月16日（火）10：30～12：00
https://cmcre.com/archives/110116/
☆開催予定のウェビナー一覧はこちらから！↓
https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/
7）関連書籍のご案内
（1）酸化物半導体薄膜技術の全て(第2弾)
https://cmcre.com/archives/59113/
■ 発 行：2020年4月30日
■ 著 者：鵜飼 育弘
■ 定 価：60,000 円（税込 66,000 円）
★ メルマガ会員：定価の10％引き！
■ 体 裁：A4判・並製・本文 161頁・カラー
■ 編集発行：（株）シーエムシー･リサーチ
ISBN 978-4-904482-77-3
↓詳細とご購入はこちらから
https://cmcre.com/archives/59113/
（2）酸化物半導体薄膜技術の全て
https://cmcre.com/archives/52376/
■ 発 行：2019年10月10日
■ 著 者：鵜飼 育弘
■ 定 価：70,000 円（税込 77,000円）
＊2020年4月30日 第2弾 発行に合わせて
定価99,000円（税込）を値下げしました。
★ メルマガ会員：定価の10％引き！
■ 体 裁：A4判・並製・本文205頁・カラー
■ 編集発行：（株）シーエムシー･リサーチ
ISBN 978-4-904482-66-7
↓詳細とご購入はこちらから
https://cmcre.com/archives/52376/
☆発行書籍の一覧はこちらから↓
https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/
以上
